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第898章 光刻机宏伟蓝图呈现（第1页）

十一年前徐国士总领光刻机研发的时候，手里汇总了当时国内各大研究所能够用于光刻机制造的华国最顶尖技术。其中自然也包括了军方秘密研究部门在激光上面的研发成就。正因为有着军方科研成就支持，徐国士团队很快就攻克了光刻机光源部分。那时候徐国士就知道，华国的激光研究已经走在了世界前列。在陈国泰提起西方光刻机光源之前，由于西方对有关光刻机的一切都封锁得十分严密，徐国士一直都不太清楚西方光刻机的光源构成。现在听陈国泰这么一说，徐国士才无比惊讶地发现，华国已经在光刻机上运用了十年时间的氦—氖气体激光器不但没有落伍，现在居然还在领先！这当然让徐国士由衷地感到自豪。但在自豪之余，徐国士又为陈国泰的敏锐推测而感到无比吃惊。“这其实并不难猜，很容易就推论出来徐老师，根据我们得到的情报，目前西方光刻机的最大加工精度已经达到了08微米，也就是800纳米。不知道咱们光刻机的加工精度达到什么程度了？”陈国泰微微摆了摆手，充满希冀地问道。他如果没有记错的话，国内光刻机的最大加工精度在今年也要达到800纳米。“国外也是800纳米吗？小陈，实不相瞒，国内即使采用了大大优于高压汞灯的氦—氖气体激光器作为光源，最大精度也才刚刚达到800纳米按理说，气体激光光源由于波长更加理想，最大加工精度在理论上可以达到200纳米左右但是因为国家在精密加工上面的短板实在太明显，我们生产出的零部件精度远远不够，暂时只能达到这个程度我们以后虽然可以在设计上继续深化，但是生产加工已经难以为继就算不计损耗地堆积资源都不行。”徐国士轻轻地摇了摇头，语气有点低沉，忧心忡忡地说道。“徐老师，根据情报，国外因为光刻机的研发需要，他们现阶段其实也开始了气体激光器的研究。如果他们研发成功，有他们的精湛精密加工技术支持，他们很快就要在光源方面赶上甚至超过我们华国。那时候，差距将更加明显。”陈国泰略略沉默了一下，轻声说道。他大概记得，西方世界在八十年代后期就开发出了光刻机第三代光源氟化氪准分子激光，将芯片最大加工精度一举提升到了180纳米左右。前世的漂亮国在1988年投入首飞的b2隐形轰炸机，上面搭载的芯片就是192纳米制程。“是啊。国家在工业上欠缺得太多了。落下的‘课程’不知道要多久才能补完？”徐国士油然叹息道。“徐老师，我再给你透露一个西方光刻机研究的绝密情报。西方研发气体激光器的方向暂时是在氟化氪上面。据说氟化氪激光器的最大分辨率能够达到180纳米。他们更提出了氟化氩这个预研方向。据说氟化氩激光器的最大分辨率可以达到45纳米。我想这个消息应该对你具有一定的参考价值。”陈国泰略微想了想，语气很是认真地对徐国士说道。氟化氪光源是第三代光源，氟化氩是第四代。虽然西方世界很大可能才刚开始研究氟化氪，氟化氩还连影子都没有，但并不妨碍陈国泰将这个消息提前透露给国家知道。“真的吗？小陈，你提供的这个消息如果是真的，那价值就太重大了！我们正在探索怎么在氦—氖激光器基础上继续改进，你这一下子就指出了明确方向”徐国士一下子激动起来，目光灼灼地盯着陈国泰说道。“徐老师，情报是这样，但具体是不是，还得你们进行仔细验证。”陈国泰立即语气谨慎地说道。虽然他无比笃定氟化氪光源从九十年代初期开始大行其道，氟化氩在二十一世纪初得到实际应用，直到2016年才被极紫外激光取代，但他也不可能在当下把话说死。“嗯，实验各种材料很麻烦，也很费资源，但要验证某种材料好不好，还是比较简单。小陈，谢谢你，谢谢凤凰集团。”徐国士满脸感激地说道。“徐老师不用客气。咱们之间的合作协议达成之后，研发出来的技术是永久共享。你们找到正确道路并投入运用，对我们凤凰集团同样有好处再说了，从此之后国内光刻机的研发试制都由我们凤凰秘密提供资金。这也是给我们自己省钱”陈国泰摆了摆手，谦逊地说道。说到最后，陈国泰的嘴唇动了动，想要说出光刻机在未来的三大创新——步进式扫描投影、双工件台配合、浸没式光刻。不过他终究还是没有将其说出来。就现在的情况，他都已经非常确定，只要凤凰集团拿到国内现阶段光刻机的所有设计图纸，再用港城的高精密机械将主要零部件制造出来并成功组装，最终成品的质量水准绝对会位居世界第一！，！这一定会引起西方世界的高度注意。而随着凤凰集团的机械制造水平越来越高，以及国内的理论设计水平不断提升，凤凰集团的光刻机水准绝对会一直稳坐全球头把交椅。毕竟现在英特尔、ib、摩托罗拉等半导体公司的光刻机还在各自为战，并且芯片生产业务在利益驱动之下迟早也会外包。前世的西方光刻机巨头阿斯麦尔公司也要等4年才会成立。在凤凰集团资金和技术都不缺乏的情况下，肯定会迅速垄断全球绝大部分芯片生产业务。西方世界从此在光刻机上面几乎再无超越凤凰集团的可能。这搞不好就会引来西方资本财团对凤凰集团的高度觊觎。所以陈国泰就突然决定，在港城回归之前，在祖国的综合国力没有增加到一定程度之前，在光刻机上面不宜领先太多。多少要给西方世界留一点追赶希望。免得他们狗急跳墙。“确实是这个道理小陈你还有没有更多的情报要说？”徐国士微笑点头道。“暂时没有了。以后一旦有了新情报，我马上就会通报过来。”“那我们现在就去楼下随便看一看光学仪器零部件的生产，以及整机生产芯片的现场情况？”“那敢情好。我早想看看咱们国家的镇国重器了！”“今天就满足你这个愿望。走吧。”三人就站起身走出办公室，向着楼下走去。：（）重生六零：我带弟弟妹妹奔小康

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